ASTM 实验

Parylene   N

Parylene C

Parylene D

环氧树脂 ER

有机硅树脂 SR

聚氨酯 UR

聚丙烯酸酯

AR

UV

介电强度 DC(V/mil)

7000

5600

5500

900-1000

1100-2000

1400- 3000

1200-2000

体积电阻 Ω.cm 23C 50%RH

1.4x10¹⁷

6-8x10¹⁶

10¹⁶

10^12-17

10^15-16

10^11-15

10^13-14

表面电阻 Q

10¹³

10¹⁴

10¹⁶

10¹³

10¹³

10¹⁵

介电常数

60Hz

2.65

3.15

2.84

3.5-5.0

2.7-3.1

5.3-7.8

3-4

1 KHz

2.65

3.10

2.

3.5-4.5

2.6-2.7

5.4-7.6

2.5-5

1MHz

2.65

2.95

2.80

3.3-4.0

2.6-2.7

4.2-5.2

3-4

介电损耗

60Hz

0.0002

0.02

0.004

0.002-0.01

0.001-0.007

0.015-0.05

0.2-0.4

1KHz

0.0002

0.019

0.003

0.002-0.02

0.001-0.005

0.04-0.06

0.02-0.04

1MHz

0.0006

0.013

0.002

0.03-0.05

0.001-0.002

0.05-0.07

0.035-0.056

1GHz

0.0043

10GHz

0.0032

杨氏模量 Mpa

2400

3200

2800

2400

720

80-800

480

抗拉强度 Mpa

45

70

75

28-91

5.6-7

1.13-70

32-77

断裂延伸%

20-250

200

10

3-6

100

100-1000

3-85

吸水性 %24h

<0.1

<0.1

<0.1

0.08-0.15

0.12 (7天)

0.02-4.5

硬度

R 85

R 80

R 80

M80-110

40-45 (肖氏)

1I0A-25D 肖氏

H-2H

摩擦系数

静态

0.25

0.29

0.33

1.0

动态

0.25

0.29

0.31

1.0

熔点 ℃

420

290

380

固化

固化

170 或 固化

空气中使用 ℃

-200-100

-200-120

-200-140

-64-199

-45-110

-59-137

线性膨胀系数 25℃ 10-5/℃

6.9

3.5

3-8

4.5-6.5

25-30

10-20

0.5-15

导热性10-4 Cal/cm.s. ℃

3.0

2.0

4-5

3.5-7.5

5.0

3-6

比热 20℃ Cal/g. ℃

0.2

0.17

0.25

0.42

水汽渗透 37℃ 90% RH g.mil/100in2.d

1.5

0.21

0.25

6.6

220

20.2

27.8

渗透性3-mi1/100*

Parylene N

Parylene C

Parylene D

氮

7.7

0.95

4.5

氧

30

7.1

32

二氧化碳

214

7.7

13

硫化氢

795

13

1.45

氯气

1.890

11

4.75

二氧化硫

74

0.35

0.55

水蒸气传输 2-24 小时大气压在 23℃

1.5

0.14

0.25

熔点 (℃)

410

290

380

线性膨胀系数 (10~5/℃)

6.9

3.5

NA

导热系数 (c㎡℃/cm)

3.0

2.0

NA

拉伸强度, PSI

6,500

10,000

11,000

拉伸模具, MPA

45

69

76

屈服强度, PSI

6,300

8,000

9,000

屈服伸长率, MPA

2,400

3,200

2,800

断裂伸长率,%

40

200

10

密度, g/cm³

1.110

1.289

1.418

摩擦系数, (静)

0.25

0.29

0.33

摩擦系数, (动)

0.25

0.29

0.31

吸水率,% (24 小时)

0.01

0.06

NA

折光指数, Nd²³

1.661

1.639

1.669

Parylene C
厚度 (in)

初始测量
23℃50%RH

预循环
23℃ 90%RH

循环 3
第五步
65℃90%RH

循环 7
第五步

65℃ 90%RH

循环 10
第五步

65℃ 90%RH

循环 10
第七步

25℃ 90%RH

0.002

2.0x10¹⁴

1.8x10¹³

2.3x10¹²

2.5x10¹¹

1.4x10¹¹

7.5x10¹²

0.0015

5.0x10¹⁴

2.4x10¹³

8.6x10¹¹

1,9x10¹¹

1.1x10¹¹

5.2x10¹²

0.001

2.0x10¹⁴

9.2x10¹²

8.1x10¹¹

3.4x10¹¹

1, 3x10¹¹

6.3x10¹²

0.0005

5.0x10¹⁴

2.3x10¹³

4.1x10¹²

2.4x10¹¹

1.1x10¹¹

4.7x10¹²

0.0003

5.0x10¹⁴

2.7x10¹³

4.4x10¹²

9.0x10¹⁰

4.7x10¹⁰

2.9x10¹²

0.0001

5.0x10¹⁴

3.2x10¹⁰

1.3x10¹¹

1.1x10¹¹

6.4x10¹⁰

2.3x10¹²

28℃时的气体渗透性

{cm³(STP)·mil} (100in²/d·atm)

90%RH 37℃ (水蒸气)
g*mi/100in²-d

H₂

N₂

O₂

CO₂

SO₂

H₂S

CL₂

Parylene N

540

7.7

39

214

1 890

795

74

1.50

Parylene C

110

1.0

7.2

7.7

11

13

0.35

0.21

Parylene D

240

4.5

32

13

4.75

1.45

0.55

0.25

Epoxy resin

110

4

5-10

8

6.6

Silicone resin

45000

50000

300000

220

Polyurethane

80

200

3000

20.2

Polyacrylate

152

716

1433

27.8

试剂品种

Concentration

Parylene N( % )

Parylene C( % )

Parylene D( % )

盐酸

10%

0.0

0.0

0.1

浓盐酸

37%

0.2

0.0

0.5

硫酸

10%

0.1

0.3

0.2

浓硫酸

95-98%

0.2

0.4

0.8

硝酸

10%

0.1

0.1

0.2

浓硝酸

71%

0.2

0.2

0.5

铬酸

10%

0.1

0.1

0.1

74%

0.3

0.0

0.2

强碱 (NaOH)

10%

0.1

0.0

0.1

弱碱 (NH₄OH)

10%

0.3

0.2

0.1